超高真空に関する様々な論文を紹介しながら検討し、従来の真空技術に対する理論を基に、著者自身が実践を経て、有効なもの、注意が必要な技法、材料などを、丁寧に解説。研究者はもちろん、これから真空の研究を始める学生等にも役立つ一冊。 　 ※ PDF形式のファイルをご覧いただくには、お使いのブラウザにAcrobat Readerがインストールされている必要があります。 電子書籍（ダウンロード版）のご注文 ※Knowledge Worker（丸善雄松堂(株)運営）へ移動します 　 2017年4月24日 本体35,000円＋税 338頁 B5 (株)エヌ・ティー・エス ISBN 978-4-86043-479-3 c3053 執筆者：　吉村　長光 キーワード チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性 表面による残留ガスの収着と表面からのガスの脱離 ガス放出量の測定方法 ガス放出量や透過係数などのデータ 電子励起ガス脱離と光励起ガス脱離 微小電子プローブ照射で起こるコンタミネーションの堆積 分子流コンダクタンスとガスフローパターン 分子流ネットワーク解析 スパッタイオンポンプとゲッターポンプの基礎 スパッタイオンポンプの開発 超高真空ゲージとマススペクトロメータ 振動の少ない超高真空油拡散ポンプと関連機器の開発 スイッチオーバー排気時に耐性を示す，ダイナミックな排気系 　　各章のキーワード集 　　むすび ※購入方法について レビュー　超高真空技術の新展開　 〜数式による解析から真空回路・分子流ネットワークへ〜 Copyright　(C) 2017　NTS Inc. All right reserved.