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キーワード |
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チャンバー壁面のガス放出機能と真空ポンプの排気機能との類似性 |
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表面による残留ガスの収着と表面からのガスの脱離 |
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ガス放出量の測定方法 |
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ガス放出量や透過係数などのデータ |
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電子励起ガス脱離と光励起ガス脱離 |
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微小電子プローブ照射で起こるコンタミネーションの堆積 |
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分子流コンダクタンスとガスフローパターン |
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分子流ネットワーク解析 |
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スパッタイオンポンプとゲッターポンプの基礎 |
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スパッタイオンポンプの開発 |
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超高真空ゲージとマススペクトロメータ |
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振動の少ない超高真空油拡散ポンプと関連機器の開発 |
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スイッチオーバー排気時に耐性を示す,ダイナミックな排気系 |
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