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【オンラインLive配信・WEBセミナー】
光学多層膜の設計・製造方法・膜厚コントロール・特性評価および
付加価値創出に向けた各種用途展開


■日時:2024年11月22日(金) 13:00〜17:00

■会場:※会社やご自宅のパソコンで視聴可能な講座です
※ お申込み時に送られるWEBセミナー利用規約・マニュアルを必ず、ご確認ください。

■定員:30名

■受講料:45,100円(税込、資料作成費用を含む)
 ※複数でのご参加を希望される場合、お申込み追加1名ごとに16,500円が加算となります

■主催:(株)AndTech

■講師:株式会社導波技術研究所  代表取締役  渡邊 正 氏 

■講演主旨:
 本講座は、光学多層膜を正しく理解し、活用するために必要な各種の知識について解説します。
説明は出来る限り簡易に、物理的イメージを得て頂けるように工夫することで、光学薄膜に関わって
すぐの方から理解できる内容とします。
 高い付加価値を有する光学多層膜の製造を考慮し、光学特性の安定化にむけて参考になる内容を
広く織り込みます。主にはモノづくりに携わる方々を想定しますが、営業職から設計・開発職の方
まで、「光学多層膜を深く知り、活用したい」との想いを持つ方々には役に立てていただけるものと
思います。
 本講座が皆様のステップアップの切欠となり、ひいては光学薄膜分野の発展への一助となれば幸い
です。

■習得できる知識:
・光学薄膜分野を俯瞰する力
・光学薄膜の理解に役立つ物理的イメージ
・基本的な光学多層膜の設計
・膜特性の安定化要素
・分光特性の基本

■プログラム:
1.イントロダクション
 ・構造色
 ・薄膜干渉=色の操作
 ・多層膜の構造
 ・縦波、横波?

2.きほんのき
 ・まずは屈折率を理解する
 ・界面での反射と位相のずれ
 ・屈折率は材料で決まる?
 ・光学膜厚
 ・屈折率、光学膜厚の波長依存性
 ・膜構成の表現方法

3.光学多層膜の設計
 ・光学薄膜の種類
 ・QWOTスタック
 ・QWOTスタックの重ね合わせ(反射帯の広帯域化)
 ・カットフィルターの基本形(LWP/SWP/IRカット)
 ・バンドパスフィルター
 ・基本形を基にした設計修正~設計の最適化~
 ・ダイクロイックミラー
 ・偏光ビームスプリッター
 ・ハーフミラー
 ・素子の形態と光線の入射角度

4.製造方法と膜質、膜厚のコントロール
 ・光学薄膜の特性を決める要素
 ・薄膜作成の概念
 ・代表的な製造方法
 ・成膜装置が有する機構
 ・膜質に影響する要素(真空蒸着を例にとって)
 ・誘電体の膜質と安定化
 ・場所のコントロール
 ・膜厚監視機構
 ・膜厚に影響する要素
 ・プロセス設計の考え方と方法

5.膜特性の安定に必要な製造設備の取り扱い知識
 ・膜特性を安定化するための要件
 ・膜特性安定化に向けた指針
 ・基板温度の安定化
 ・真空の安定化
 ・蒸発源の安定化
 ・シャッター機構
 ・成膜速度制御
 ・ドーム回転と膜厚分布
 ・イオン源の安定化
 ・光学膜厚監視系の安定化

6.光学特性の評価
 ・分光測定の基本
 ・分光測定器を構成する機器
 ・使用および管理上の注意点

7.光学多層膜の用途展開
 ・カットフィルター(撮像素子のIRカット)
 ・ダイクロイックミラー(プロジェクター)
 ・バンドパスフィルター(顕微鏡蛍光観察)
 ・狭帯域バンドパスフィルター(光通信の大容量化)
 ・光学多層膜に求められる特性
 ・膜応力
 ・外観品質の確保
 ・光学系への理解

8.まとめ
 ・付加価値を創出するために
 ・むすびとして

【質疑応答】

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