■開催日時:2025年01月31日(金) 10:30〜16:30
■会場:【WEB限定セミナー】※在宅、会社にいながらセミナーを受けられます
■定員:30名
■受講料:55,000円(税込、資料付き/1人)
※最新のセミナー情報を「配信可」にすると割引適用(登録無料)
会員(案内)登録していただいた場合、通常1名様申込で55,000円(税込)から
・1名で申込の場合、49,500円(税込)へ割引になります。
・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円(2人目無料)です。
■備考:
資料付き
【LIVE配信セミナーとは?】
■主催:(株)R&D支援センター
■講師:
駒形技術士事務所 研究開発部 所長 駒形 信幸 氏
【専門】
半導体デバイス
【略歴】
・日本技術士会正員
・応用物理学会正員
(フォト二クス分科会、応用電子物性分科会、薄膜・表面物理分科会、結晶工学分科会、超電導
分科会、有機分子・バイオエレクトロニクス分科会、プラズマエレクトロニクス分科会、シリ
コンテクノロジー分科会、先進パワー半導体分科会所属)
・電子情報通信学会正員
(基礎・境界ソサイエティ、通信ソサイエティ、エレクトロニクスソサエティ、情報システム
ソサイエティ、ヒューマンコミュニケーショングループ所属)
■受講対象・レベル:
半導体デバイス開発・設計の実務に携わる若手および中堅技術者の方
■必要な予備知識:
MS Excelの基本操作が出来ること。
■習得できる知識:
半導体デバイス開発・設計のための基礎知識が習得できる。
■趣旨:
最新のMOSトランジスタ開発は、高速化・高集積化を追求し、従来のプレーナ型から3次元構造の
FinFETやナノシートFETへと進んでいます。これらの3次元構造のMOSFETの開発や設計は、コン
ピューターシミュレーションを使用して行われるようになってきました。
しかし、これらのシミュレーションにおいても、パラメータの設定には、従来のプレーナ型
MOSFET設計やバイポーラトランジスタで培った半導体知識が必要です。
半導体デバイスの学習は、どうしても数式の導出や羅列が多く、学習意欲が損なわれがちです。
そのため、半導体特性計算のコツや半導体物理の基礎、PN接合、MOS構造、MOSトランジスタの
特性について、MS Excelを使った計算演習を通じて数値的な実感を持ってもらいます。
また、なぜCMOSが使われるのかという基礎的な理解にも言及し、従来形のMOSFETから最新のMOSFET
開発への橋渡しを行います。
■プログラム:
1.半導体基礎
1−1.結晶構造と結晶方位
1−2.CGS単位とSI単位、物理定数
1−3.シリコンの定数
2.電子の運動とバンド構造
2−1.電子の運動
(1)粒子と波動
@スリットと干渉
A金薄膜の回折
2−2.エネルギー準位の量子化
(1)ボーアの水素原子模型
(2)バンド構造
(3)結晶のバンド構造
@状態密度関数
Aパウリの排他則とフェルミ‐ディラック分布
1)パウリの排他則
2)フェルミ‐ディラック分布
●フェルミ準位とは
3)キャリアのエネルギー分布
2−3.各種固体のバンド構造
(1)金属
(2)半導体
(3)絶縁体
2−4.半導体のエネルギー準位図
(1)各種バンドの表し方
@エネルギーと位置
Aエネルギー分布と位置
Bエネルギーと波数k
(2)真性半導体
(3)N形半導体
(4)P形半導体
3.キャリアの運動
3−1・ドリフトと拡散
(1)ドリフト移動度
(2)キャリアの拡散
(3)アインシュタインの関係式とキャリアの拡散長
(4)演習@(キャリアの拡散長計算)
4.PN接合
4−1.PN接合のバンド構造
4−2.PN接合の電流−電圧特性
(1)計算式
(2)演習A(飽和電流の計算等)
4−3.空乏層の拡がり
(1)階段接合
(2)傾斜接合
(3)演習B(空乏層の拡がり計算)
5.不純物濃度の求め方
5−1.キャリア濃度から
5−2.体積抵抗率とキャリア濃度の関係グラフ
(1)演習C(不純物濃度の求め方演習)
5−3.ドーズ量と接合深さから
5−4.一般的な文献値から
6.MOS素子基本特性
6−1.MOS構造
6−2.ゲートバイアスと反転層の形成
(1)電荷蓄積層の形成
(2)空乏層の形成
(3)反転層の形成
(4)演習D(しきい値電圧計算)
7.MOSトランジスタ
7−1.MOSトランジスタ電流−電圧の関係式
7−2.MOSトランジスタの閾値電圧の計算方法
(1)計算式
(2)調整方法
(3)演習E(イオン注入によるしきい値電圧調整)
7−3.耐圧
(1)ブレークダウン耐圧
@アバランシェ降伏(なだれ降伏)
Aツェナー降伏
Bアバランシェ降伏とツェナー降伏の温度特性
(2)階段接合(無限大平面の場合)のブレークダウン電圧
(3)空乏層の伸びとブレークダウン電圧の関係
(4)コーナーRがある場合
(5)演習F(ブレークダウン電圧の計算)
7−4.アイソレーションと寄生MOS
(1)寄生MOSのしきい値電圧とチャネルストッパー
(2)計算式
(3)演習G(寄生 MOSのしきい値電圧の計算)
8.CMOSについて
8−1.CMOS回路の特徴
8−2.CMOS回路の実際
8−3.CMOSプロセスと構造
9.最新構造のMOSトランジスタへのアプローチ
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